等離子廢氣凈化設備工作原理：
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應達到分解污染物的目的。
等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

等離子廢氣凈化設備對氣態有機污染物的降解機理：

有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低 溫 等 離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子.分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂，從而使其降解。

從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電等離子體與吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯尿烷、樹脂、等氣體及消毒滅菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副產物。